聚焦离子束扫描电镜和普通扫描电镜的区别

fib芯片提供维修、系统安装、技术升级换代、系统耗材，以及应用开发和培训。

离子束扫描电镜(Ion Beam Scanning Electron Microscopy,简称IBSTEM)和普通扫描电镜(Scanning Electron Microscopy,简称SEM)是两种广泛用于研究材料的显微镜。尽管它们都是用于研究材料的显微镜,但它们之间还存在一些区别。本文将比较这两种显微镜,并探讨它们在研究材料方面的优缺点。

1. 原理

离子束扫描电镜使用离子束来扫描样品表面。离子束是由一系列带正电荷的电子组成的高能电子束。当离子束撞击样品时,电子束被样品中的原子或分子吸收,导致样品表面发生离子化。这些离子被扫描并产生图像。

普通扫描电镜使用电场来扫描样品表面。样品被置于电场中,然后扫描电场以产生图像。在扫描电场时,电子束被推向样品表面,然后被返回。这种扫描方式被称为“场扫描”。

2. 分辨率

分辨率是衡量显微镜成像能力的指标,指的是在图像中能够分辨两个相邻物体的最小距离。离子束扫描电镜的分辨率通常比普通扫描电镜高。这是因为离子束扫描电镜使用离子束来扫描样品表面,离子束的高能使得它们能够在样品中产生更清晰的图像。另一方面,普通扫描电镜使用电场来扫描样品表面,因此其分辨率受到电场和样品厚度的限制。

3. 扫描速度

离子束扫描电镜的扫描速度通常比普通扫描电镜慢。这是因为在扫描离子束时需要一定的时间来准备离子束和扫描样品。另一方面,普通扫描电镜可以快速扫描样品表面。这种快速扫描的能力使得普通扫描电镜在某些应用中比离子束扫描电镜更实用。

4. 适用范围

离子束扫描电镜适用于研究材料表面的高分辨率图像。由于离子束的高能,这种显微镜可以用来研究材料表面的结构和缺陷。另一方面,普通扫描电镜适用于研究材料的场扫描图像。这种扫描方式可以用来研究材料内部的结构。

5. 优缺点

离子束扫描电镜的优点是具有高分辨率,适用于研究材料表面。但是,离子束扫描电镜的缺点是扫描速度较慢,而且通常成本较高。

普通扫描电镜的优点是扫描速度快,而且成本较低。但是,普通扫描电镜的缺点是分辨率较低,适用于研究材料内部结构。

6. 结论

离子束扫描电镜和普通扫描电镜在研究材料方面各自具有优势和缺点。离子束扫描电镜适用于研究材料表面,具有高分辨率,但缺点是扫描速度慢,成本高。普通扫描电镜适用于研究材料内部结构,具有快速扫描的能力,但分辨率较低。

离子束扫描电镜和普通扫描电镜都有其适用范围,应根据具体需要选择合适的显微镜。

专业提供fib微纳加工、二开、维修、全国可上门提供测试服务，成功率高！