双束聚焦离子显微镜原理图解

纳瑞科技（北京）有限公司(Ion Beam Technology Co.,Ltd.)成立于2006年，是由在聚焦离子束（扫描离子显微镜）应用技术领域有着多年经验的技术骨干创立而成。

双束聚焦离子显微镜(Two-beam focused ion microscope,TFIM)是一种高分辨率的电子显微镜,可以对材料进行表面形貌和成分的分析。本文将介绍TFIM的原理图解。

家人们, TFIM由两个聚焦离子源(F2和F1)和一个位于两个离子源之间的空间中的电子枪组成。电子枪会发射出高能电子束,这些电子束被聚焦在两个离子源之间的空间中。这两个离子源是双束离子源,它们会受到电子束的激发并发射出离子束。这些离子束被探测并形成一个高分辨率的图像。

当电子束撞击到样品时,样品中的原子会被电离并产生电子。这些电子被加速,并在通过离子源时被减速。在离子源中,电子束被偏转并聚焦在一点上,形成一个高强度的光斑。这个光斑中的电子被进一步加速,撞击到探测器上,并被探测到。

探测器的原理与传统的电子显微镜相似。探测器会将电子束转换为图像,并通过计算机处理来形成一个高分辨率的图像。话说回来, TFIM有两个离子源,这使得TFIM能够提供更高的分辨率。

在TFIM中,两个离子源的电压和电流可以控制,以实现最佳成像。双束离子源的电压和电流可以调节,以产生适当的电子束强度和离子束强度。通过控制电压和电流,TFIM可以在不同的样品和不同实验条件下获得高质量的图像。

TFIM的原理图解如下所示:

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| Two-beam |
| focused ion |
| microscope |
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| electron |
| gun |
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| focused ion |
| source |
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| beam |
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| analyzer |
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TFIM的两个离子源可以提供高分辨率的成像。通过控制电压和电流,可以在不同的样品和不同实验条件下获得高质量的图像。TFIM的原理图解如上所示。

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